大亞真空DIAVAC，真空計的特點及應用範圍

在半導體(ti) 製造、真空鍍膜、航空航天等多元化的工業(ye) 領域，真空環境的穩定性與(yu) 精確性直接決(jue) 定產(chan) 品質量與(yu) 工藝成敗。作為(wei) 全球真空技術領域的企業(ye) ，日本大亞(ya) 真空（DIAVAC）憑借80餘(yu) 年技術積澱，打造出以TRP-11皮拉尼真空計、TRD-10隔膜真空計為(wei) 代表的精密測量儀(yi) 器，為(wei) 全球用戶提供從(cong) 粗真空到超高真空的全場景解決(jue) 方案。

一、核心產(chan) 品分類及技術特點

1、皮拉尼真空計（熱傳(chuan) 導型）

基於(yu) 氣體(ti) 熱傳(chuan) 導原理，通過測量加熱絲(si) 電阻變化間接計算壓力。

代表型號：TRP-12/SP、TRP-11/SP

技術特點：

● 量程範圍：5.0×10⁻²～1.0×10⁵ Pa，覆蓋粗真空至中真空。

● 高精度：在1～100 mbar範圍內(nei) 精度顯著高於(yu) 普通膜盒式真空計，1～20 mbar時讀數誤差可低至±0.3 mbar。

● 簡單結構：采用9針D型連接器，支持LED數碼顯示，重量僅(jin) 120-136g，便於(yu) 集成。

● 適用場景：化工、電子、電池製造等領域的真空設備壓力監測。

2、組合式真空計（多傳(chuan) 感器聯動）

集成皮拉尼傳(chuan) 感器與(yu) 冷陰極電離規（CCG），實現大氣壓至1.0×10⁻⁶ Pa的全量程覆蓋。

代表型號：PC-3DA、PT-3DA

技術特點：

● 電源兼容性：支持AC100-240V寬電壓輸入，適應全球不同地區電網。

● 配備6個(ge) 設定點繼電器，支持記錄儀(yi) 輸出和RS485/RS422A串行通訊。

● 多顯示模式可同時展示3點測量值，適用於(yu) 複雜真空係統。

● 適用場景：半導體(ti) 製造、高真空鍍膜、科研實驗等需要高精度、多參數控製的場景。

3、壓電隔膜式真空計（非加熱型）

基於(yu) 壓電效應直接測量壓力，無需加熱元件，響應速度更快。

代表型號：TRD-10-P12NC/TRD-10-P13NC

技術特點：

● 量程範圍：TRD-10-P12NC為(wei) 0-13.3 kPa，TRD-10-P13NC為(wei) 0-133 kPa。

● 高精度：讀數誤差±0.2%，模擬輸出DC0-10V，數字通訊支持RS-485。

● 防護等級：IP40，兼容SUS316L氣體(ti) 接觸材料，適用於(yu) 腐蝕性環境。

● 適用場景：工業(ye) 過程控製、環境監測、醫療設備等需要快速響應和耐腐蝕的場景。

二、多元化的應用場景

DIAVAC真空計的應用範圍廣泛，涵蓋化工、電子/電池、醫療衛生、生物產(chan) 業(ye) 、半導體(ti) 製造及真空排氣係統研發等多個(ge) 領域，其核心應用場景與(yu) 產(chan) 品特性緊密相關(guan) ，具體(ti) 如下：

1、化工與(yu) 電子/電池領域

● 真空工藝監控：DIAVAC真空計（如PT-3PM、PC-3DA係列）通過皮拉尼原理或複合測量技術（皮拉尼+冷陰極計），可實時監測真空幹燥、蒸餾、鍍膜等工藝中的壓力變化，確保工藝穩定性。例如，PT-3PM的測量範圍為(wei) 1.3×10²〜1.3×10⁻¹ Pa，適用於(yu) 電子元件製造中的真空環境控製。

● 研發支持：在化工材料合成或電池電極材料研發中，DIAVAC真空計（如DS-305T高真空排氣係統）可提供精確的壓力數據，輔助優(you) 化反應條件。其標準配備的皮拉尼真空計與(yu) 可選的冷陰極計/電離真空計組合，覆蓋從(cong) 大氣壓到10⁻⁴ Pa的寬量程需求。

2、醫療衛生/生物產(chan) 業(ye) 領域

● 無菌環境控製：在醫療設備滅菌、藥品真空包裝或食品脫水工藝中，DIAVAC真空計（如DGC-A12顯示器）通過RS-485數字通信實現自動化壓力監測，確保生產(chan) 過程符合衛生標準。其7段LED顯示與(yu) “Pa/133.32"雙單位切換功能，便於(yu) 操作人員快速讀取數據。

● 細胞培養(yang) 與(yu) 發酵控製：在生物反應器中，DIAVAC真空計（如TRD-10隔膜真空計）通過壓電式非加熱測量技術，避免高溫對細胞活性的影響，同時其SUS316L氣體(ti) 接觸部件可耐受腐蝕性氣體(ti) ，確保生物安全。

3、導體(ti) 製造領域

● 高真空工藝支持：DIAVAC真空計（如TRP-11皮拉尼真空計）通過恒壓測量電路與(yu) 數字溫度補償(chang) 技術，在半導體(ti) 刻蝕、沉積等高真空工藝中提供穩定壓力信號。其測量範圍達5.0×10⁻²〜1.0×10⁵ Pa，覆蓋從(cong) 粗真空到高真空的全流程。

● 係統集成優(you) 化：通過RS-485通信接口，DIAVAC真空計可與(yu) 半導體(ti) 設備控製係統無縫對接，實現壓力數據實時傳(chuan) 輸與(yu) 自動化調節。例如，PC-3DA組合式真空計支持多達16個(ge) 測量元件連接，滿足複雜工藝需求。

4、真空排氣係統研發領域

● 係統性能驗證：DIAVAC真空計（如DS-422T/DS-435T高真空排氣係統）在研發階段用於(yu) 測試油旋轉泵與(yu) 渦輪分子泵的協同效率，其極限壓力達10⁻⁴ Pa，可模擬惡劣真空環境。

● 故障診斷工具：通過記錄儀(yi) 輸出功能（如PT-3PM的DC 0-10mV輸出），研發人員可分析壓力波動曲線，定位係統泄漏點或泵性能衰減問題，縮短研發周期。

三、選型建議

1. 電子/電池製造

需求：真空幹燥、注液等工序需精確控製壓力。

推薦型號：TRP-12/SP（皮拉尼型）

理由：量程覆蓋中真空，精度高，LED顯示便於(yu) 實時監測。

2. 半導體(ti) 製造

需求：高真空鍍膜、刻蝕等工藝需全量程壓力控製。

推薦型號：PC-3DA（組合式）

理由：皮拉尼+CCG聯動，支持多參數顯示和串行通訊，適應複雜工藝流程。

3. 化工過程控製

需求：腐蝕性氣體(ti) 環境下的壓力測量。

推薦型號：TRD-10-P13NC（壓電式）

理由：SUS316L氣體(ti) 接觸材料和IP40防護等級，確保長期耐腐蝕性能。

大亞(ya) 真空DIAVAC真空計：以真空之名，重新定義(yi) 工業(ye) 精度！