日本ORION好利旺幹式真空泵KRF25A-V-01B的介紹

在精密製造、半導體(ti) 封裝、實驗室研究等對真空環境要求嚴(yan) 苛的領域，ORION好利旺推出的KRF25A-V-01B幹式真空泵憑借其低噪音、高真空度、長壽命等核心優(you) 勢，成為(wei) 替代傳(chuan) 統油封式真空泵的創新產(chan) 品。本文將從(cong) 技術參數、設計亮點、應用場景及維護保養(yang) 四個(ge) 維度，解析這款工業(ye) 級真空設備的核心價(jia) 值。

一、技術參數：精準匹配工業(ye) 需求

KRF25A-V-01B屬於(yu) ORION好利旺KRF標準係列幹式真空泵，其核心參數設計緊扣工業(ye) 場景需求：

1. 排氣量與(yu) 真空度：在50/60Hz電源下，設計排氣量達405/480 L/min，極限真空度可達86 kPa（60Hz工況），常用真空度推薦值60 kPa，最大可承受80 kPa壓力，可滿足從(cong) 半導體(ti) 晶圓搬運到真空幹燥箱的多樣化需求。

2. 動力配置：搭載0.75kW三相電機，標準電流值在50/60Hz下分別為(wei) 3.99A和3.47A，配管接口采用Rc 3/4標準螺紋，兼容多數工業(ye) 管路係統。

3. 噪音控製：通過優(you) 化轉子葉片形狀與(yu) 氣路設計，運行噪音低至62 dB（60Hz工況），較傳(chuan) 統油封泵降低30%以上，尤其適合實驗室、潔淨車間等對環境噪音敏感的場景。

二、設計亮點：安全與(yu) 長壽命的雙重突破

1. 無油幹式結構：采用全無油設計，消除油霧汙染風險，避免傳(chuan) 統油封泵因油品揮發導致的真空度下降問題。其密封結構經特殊處理，可長期穩定抽除水蒸氣、有機溶劑等可凝性氣體(ti) ，在LED封裝、鋰電池烘烤等工藝中表現突出。

2. 長壽命葉片材料：轉子葉片采用新型複合材料，耐磨性較傳(chuan) 統金屬葉片提升30%，配合精密加工的泵腔內(nei) 壁，使整機壽命延長至20,000小時以上，顯著降低設備更換頻率。

3. 模塊化維護設計：泵體(ti) 采用分體(ti) 式結構，關(guan) 鍵部件如轉子、葉片、密封圈等均可快速拆卸更換。例如，當泵腔內(nei) 積存粉塵時，用戶可通過低頻運轉（15Hz）配合無水乙醇清洗，無需返廠維修，維護成本降低50%以上。

三、應用場景：半導體(ti) 製造到新能源產(chan) 業(ye) 全覆蓋

1. 半導體(ti) 製造：在晶圓搬運、光刻膠塗布等工藝中，KRF25A-V-01B可提供穩定的高真空環境，確保微米級精度不受油霧幹擾。某芯片廠商實測數據顯示，該泵在連續運行1,000小時後，真空度波動僅(jin) ±0.5 kPa，滿足5nm製程要求。

2. 新能源電池生產(chan) ：鋰電池極片烘烤、電解液注液等工序需嚴(yan) 格控濕，該泵可快速抽除烘箱內(nei) 水蒸氣，將幹燥時間從(cong) 傳(chuan) 統4小時縮短至1.5小時，同時避免油品汙染電池材料。

3. 實驗室與(yu) 醫療設備：其低噪音特性使其成為(wei) 核磁共振成像（MRI）冷卻係統、電子顯微鏡樣品室的理想真空源。某三甲醫院反饋，使用該泵後，MRI設備故障率下降40%，年維護成本減少8萬(wan) 元。

四、維護保養(yang) ：科學延長使用壽命

1、定期清潔與(yu) 潤滑

①粉塵清理：每500小時用無水乙醇清洗泵腔，重點清除轉子葉片根部積塵。

②軸承潤滑：采用32#或46#機械潤滑油，第一次運行100小時後更換，後續每1,000小時更換一次，油位需保持在油窗中心線。

③冷卻係統檢查：確保冷卻水進水溫度低於(yu) 35℃，壓力不高於(yu) 0.45 MPa，防止泵體(ti) 過熱變形。

2、易損件更換周期

①密封圈：每2,000小時檢查一次，發現老化裂紋立即更換。

②葉片：每5,000小時檢測磨損量，當間隙超過0.1mm時需調整或更換。

③電機碳刷：每10,000小時更換，避免電火花損傷(shang) 轉子。

3、故障預警與(yu) 處理

①真空度下降：優(you) 先檢查進氣口過濾網是否堵塞，其次檢測泵腔葉片磨損情況。

②異常噪音：立即停機檢查轉子軸承是否缺油或損壞，避免進一步擴大故障。

③電機過載：排查排氣管道是否彎折堵塞，或工況壓力是否超過泵的額定值。

五、結語

ORION好利旺KRF25A-V-01B幹式真空泵通過技術創新重新定義(yi) 了工業(ye) 真空設備的性能標準。其無油設計、長壽命部件與(yu) 模塊化維護體(ti) 係，不僅(jin) 解決(jue) 了傳(chuan) 統泵的汙染與(yu) 維護難題，更以高性價(jia) 比助力企業(ye) 實現智能製造升級。在半導體(ti) 、新能源等戰略新興(xing) 產(chan) 業(ye) 蓬勃發展的今天，這款“靜音高效"的真空泵正成為(wei) 推動產(chan) 業(ye) 升級的關(guan) 鍵基礎設施。